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维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去,原因可能有几个,一定要搞清楚是什么原因,是真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之。这时,应该耐心观察和记录,从中找出故障。比如,抽空时间相同,而真空度偏低,这时候,关闭高压阀,如真空计指针很快下降,多数情况是真空室漏了,这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢,多数情况是真空机组抽气能力不够,这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上,看是哪里出现了泄漏,或是扩散泵油被污染了,氧化了等;或是前级管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,轴封漏油,阀片损坏等故障。
现在真空设备的应用领域愈来愈广,很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题,铝材真空腔体加工生产厂家,这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不---的损失。有一台设备,工作时发生放电现象,经过对工作记录的分析和与操作者的交流,卧式真空腔体加工生产厂家,得出不同的结论,有人认为电源有问题,有人认为是装配过程的问题。,对设备进行了拆卸,重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机,下半部的产品明显好于上半部的,靶的外表看不出什么问题来,拿高斯计一试,真空腔体加工生产厂家,上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路,换了磁环,产品上下一致的问题得到了解决。
真空系统中有运动传递的地方会采用动密封,这些动密封结构,半导体真空腔体加工生产厂家,很有可能在静态的时候密封---而运动的时候产生泄漏;比如采用橡胶轴封做动密封阀杆与阀体之间的阀门,就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高,不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态,这种动态泄漏很难被发现。
对于非常关键的工艺,选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率;如果选用的还是轴封做密封的阀门,在检漏时
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