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---质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过---质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
---质谱检漏仪原理:
---质谱检漏仪是一种以---气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
---质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
---质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过---质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下---漏率的校准方法。
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定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,真空---质谱检漏仪维修,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,真空---质谱检漏仪定制,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷枪咀流量小的喷枪,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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检漏技术在我国经济中占有非常重要的---,被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。
---质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比,除检漏原理不同以外,还具有监测灵敏度高,速度快、适用范围广,探索气体---性、无破坏性、轻等优点,是诸多检漏法中有效的方法。
---质谱检漏仪在使用过程中,常见的故障就是灯丝脆断,---质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆,真空---质谱检漏仪生产厂家,再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹,这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶,真空---质谱检漏仪,减少了堆垛层位错能量,降低位错移动的晶界阻抗,从而使位错迁移率增加,促使了钨的固溶软化,此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了---质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险,铼浓度高时的塑化效应降低。
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