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真空泵(vacuum pump)
利用机械、物理、化学、物理化学等方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置。真空泵和其他设备(如真空容器、真空阀、真空测量仪表、连接管路等)组成真空系统，广泛应用于电子、冶金、化工、食品、机械、、航天等部门。
按其工作原理，基本---为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。
目前工业中应用较多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
w型往复式真空泵( model w piston vacuum pump )是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，---是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2x型旋片式真空泵( model 2x sliding vane rotary vacuum pump )
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2xz型旋片式真空泵( model2xz sliding vane rotary vacuum pump )
具有结构紧凑，体积小，便携式---质谱检漏仪维修，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，---质谱检漏仪维修，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
xd型旋片式真空泵( model xd sliding vane rotary vacuum pump )
---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa一般常规检漏仪为0.05pa以下，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝---等优点。
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喷---法
喷---法是，的检漏方法。检漏时，用连接在装有---气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷---气，如果有---气从漏孔中流入压力容器装置，国产---质谱检漏仪维修，则装置内的---分压就会上升，---检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。
喷---法检漏中应该注意以下几个问题：
1、实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于喷枪所喷出的---气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使---气的浓度有所降低。二是喷枪喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的---气浓度降低。
2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由*近检漏仪处向远离检漏仪处逐点进行喷---检查。
3、检出的大漏孔要经修补后再去漏孔。
4、当存在两个相距很近的的漏孔点时，应先把一个点盖住，在对另一点用细的喷枪进行喷---。
5、当喷枪喷在某一点时，真空---质谱检漏仪维修，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。
6、检出漏孔后，还应再做几次复检。
7、检漏场地要有---的通风条件，但也不能太大，不应影响喷枪喷出的---气气流的方向。
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